[实用新型]一种分片送料装置

权利要求书

1.一种分片送料装置，包括设置在支撑机构(1)上方的用于硅片运输的输送机构(3)，所述支撑机构(1)包括底板(11)以及设置在所述底板(11)后侧的支撑板(12)，其特征在于：还包括设置在所述支撑机构(1)上方通过螺纹传动的用于提升硅片的上料机构(4)以及设置在所述上料机构(4)上方通过往复运动将硅片进行分片的分片机构(2)。

2.根据权利要求1所述的一种分片送料装置，其特征在于：所述分片机构(2)包括第一伺服电机(21)，所述第一伺服电机(21)安装在所述支撑板(12)上，所述第一伺服电机(21)输出端连接有凸轮(22)，所述凸轮(22)上连接有连杆(23)，所述凸轮(22)上方设置有导柱(25)，所述导柱(25)两侧设置有固定座(24)，所述导柱(25)上设置有滑块(26)，所述滑块(26)与所述连杆(23)一端连接，所述滑块(26)前侧设置有推料板(27)，所述推料板(27)上方设置有上辅助板(28)，所述上辅助板(28)下端远离所述支撑板(12)处设置有滑轨(29)，所述推料板(27)一端与所述滑轨(29)滑槽连接。

3.根据权利要求1所述的一种分片送料装置，其特征在于：所述上料机构(4)包括第三伺服电机(41)，所述第三伺服电机(41)安装在支撑座(46)上，所述支撑座(46)连接在所述支撑板(12)上，所述第三伺服电机(41)输出端连接有丝杠(42)，所述丝杠(42)上设置有活动板(43)，所述活动板(43)上方连接有承载板(44)，所述承载板(44)四周设置有限位柱(45)。

4.根据权利要求1所述的一种分片送料装置，其特征在于：所述输送机构(3)包括支架(32)，所述支架(32)上设置有主带轮(33)，所述主带轮(33)一侧设置有副带轮(34)，所述主带轮(33)与所述副带轮(34)上设置有输送带(35)，所述主带轮(33)后端连接有第二伺服电机(31)。

5.根据权利要求2所述的一种分片送料装置，其特征在于：所述第一伺服电机(21)与所述凸轮(22)键连接，所述连杆(23)与所述凸轮(22)、所述滑块(26)转动连接，所述滑块(26)与所述导柱(25)直线轴承连接。

6.根据权利要求3所述的一种分片送料装置，其特征在于：所述第三伺服电机(41)与所述丝杠(42)联轴器连接，所述丝杠(42)与所述活动板(43)螺纹连接，所述丝杠(42)与所述支撑座(46)轴承连接，所述活动板(43)穿过所述支撑板(12)间隙连接。

7.根据权利要求4所述的一种分片送料装置，其特征在于：所述主带轮(33)、所述副带轮(34)为同步带轮，所述输送带(35)为同步带。