[实用新型]一种超高纯气体的生产系统有效
| 申请号： | 201921292085.X | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN210340337U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 张观海;裴友宏;袁淑筠 | 申请（专利权）人： | 广东华特气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/04 | 分类号： | C01B21/04;B01D53/04;F17C5/06;F17C13/02 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 朱培祺;梁永健 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种超高纯气体的生产系统，原料罐、低温液体泵、汽化器、集装格、增压机、纯化器和充装瓶；原料罐的输出端连通于低温液体泵的输入端；低温液体泵输出端连通于汽化器的输入端；汽化器的输出端连通于集装格的输入端；集装格的输出端连通于增压机的输入端；增压机的输出端连通于纯化器的输入端；纯化器的输出端连通于充装瓶的输入端。本实用新型根据上述内容提出一种超高纯气体的生产系统，其结构简单，能够使纯化器始终保持在高压状态下进行吸附除杂，并且不用频繁对集装格中的钢瓶进行充装补压，生产过程，质量可控和稳定，操作过程安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 气体 生产 系统 | ||
【主权项】：
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