[实用新型]一种超高纯气体的生产系统有效
申请号: | 201921292085.X | 申请日: | 2019-08-08 |
公开(公告)号: | CN210340337U | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 张观海;裴友宏;袁淑筠 | 申请(专利权)人: | 广东华特气体股份有限公司 |
主分类号: | C01B21/04 | 分类号: | C01B21/04;B01D53/04;F17C5/06;F17C13/02 |
代理公司: | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人: | 朱培祺;梁永健 |
地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 气体 生产 系统 | ||
1.一种超高纯气体的生产系统,其特征在于:原料罐、低温液体泵、汽化器、集装格、增压机、纯化器和充装瓶;
所述原料罐的输出端连通于所述低温液体泵的输入端;
所述低温液体泵输出端连通于所述汽化器的输入端;
所述汽化器的输出端连通于所述集装格的输入端;
所述集装格的输出端连通于所述增压机的输入端;
所述增压机的输出端连通于所述纯化器的输入端;
所述纯化器的输出端连通于所述充装瓶的输入端。
2.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统,其特征在于:还包括进料阀,其设置于所述原料罐的输出端。
3.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统,其特征在于:还包括单向阀,其设置于所述汽化器的输出端。
4.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统,其特征在于:还包括充装阀,其设置于所述充装瓶的输入端。
5.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统,其特征在于:还包括第一压力表,其设置于所述低温液体泵的输出端。
6.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统,其特征在于:还包括第二压力表,其设置于所述充装瓶的输入端。
7.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统,其特征在于:还包括在线检测端,其设置于所述集装格的输出端,所述在线检测端设有端阀。
8.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统,其特征在于:所述充装瓶的数量为多个。
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