[实用新型]一种超高纯气体的生产系统有效
| 申请号： | 201921292085.X | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN210340337U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 张观海;裴友宏;袁淑筠 | 申请（专利权）人： | 广东华特气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/04 | 分类号： | C01B21/04;B01D53/04;F17C5/06;F17C13/02 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 朱培祺;梁永健 |
| 地址： | 528000 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 气体 生产 系统 | ||
1.一种超高纯气体的生产系统，其特征在于：原料罐、低温液体泵、汽化器、集装格、增压机、纯化器和充装瓶；
所述原料罐的输出端连通于所述低温液体泵的输入端；
所述低温液体泵输出端连通于所述汽化器的输入端；
所述汽化器的输出端连通于所述集装格的输入端；
所述集装格的输出端连通于所述增压机的输入端；
所述增压机的输出端连通于所述纯化器的输入端；
所述纯化器的输出端连通于所述充装瓶的输入端。
2.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统，其特征在于：还包括进料阀，其设置于所述原料罐的输出端。
3.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统，其特征在于：还包括单向阀，其设置于所述汽化器的输出端。
4.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统，其特征在于：还包括充装阀，其设置于所述充装瓶的输入端。
5.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统，其特征在于：还包括第一压力表，其设置于所述低温液体泵的输出端。
6.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统，其特征在于：还包括第二压力表，其设置于所述充装瓶的输入端。
7.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统，其特征在于：还包括在线检测端，其设置于所述集装格的输出端，所述在线检测端设有端阀。
8.根据权利要求1所述的一种超高纯气体的生产系统，其特征在于：所述充装瓶的数量为多个。
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