[实用新型]一种空气流量可调的低温等离子体处理装置

摘要

本实用新型属于等离子体处理装置领域，尤其是一种空气流量可调的低温等离子体处理装置，针对现有的低温等离子体处理装置在使用时，不便于对空气流量进行调节的问题，现提出如下方案，其包括反应室，所述反应室内侧设置有第一电极板和第二电极板，第二电极板上放置有基材，第一电极板的顶部设有位于反应室内的气体分配器，所述反应室的顶部固定连通有矩形进气管，反应室的两侧均设有出气口，所述矩形进气管的一侧开设有转动孔，转动孔内转动安装有转动轴，转动轴的一端延伸至矩形进气管内，本实用新型通过对圆板与矩形进气管之间的夹角进行调节，从而可以对空气流量进行调节，满足人们的使用需求，结构简单，使用方便。