[实用新型]一种空气流量可调的低温等离子体处理装置

权利要求书

1.一种空气流量可调的低温等离子体处理装置，包括反应室(1)，所述反应室(1)内侧设置有第一电极板(5)和第二电极板(6)，第二电极板(6)上放置有基材(7)，第一电极板(5)的顶部设有位于反应室(1)内的气体分配器(4)，所述反应室(1)的顶部固定连通有矩形进气管(2)和废气进入口，反应室(1)的两侧均设有出气口(3)，其特征在于，所述矩形进气管(2)的一侧开设有转动孔(8)，转动孔(8)内转动安装有转动轴(9)，转动轴(9)的一端延伸至矩形进气管(2)内，所述转动轴(9)的外侧固定套设有圆板(10)，圆板(10)位于矩形进气管(2)内；

所述转动轴(9)的另一端固定安装有转动板(11)，转动板(11)的一侧与矩形进气管(2)的外侧相接触，所述转动板(11)上开设有两个滑孔(12)，两个滑孔(12)内均滑动安装有滑块(13)，两个滑块(13)中的一个滑块(13)的一侧固定安装有卡块(15)，所述矩形进气管(2)靠近转动板(11)的一侧开设有多个卡槽(16)，卡块(15)与对应的卡槽(16)相配合。

2.根据权利要求1所述的一种空气流量可调的低温等离子体处理装置，其特征在于，两个滑块(13)的一侧固定安装有同一个转动环(14)，转动环(14)的外侧固定套设有橡胶套。

3.根据权利要求1所述的一种空气流量可调的低温等离子体处理装置，其特征在于，两个滑块(13)相互远离的一侧均固定安装有矩形块(17)，两个滑孔(12)相互远离的一侧内壁上均开设有矩形槽，矩形块(17)与对应的矩形槽的侧壁滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种空气流量可调的低温等离子体处理装置，其特征在于，两个矩形块(17)的一侧均固定安装有弹簧(18)的一端，两个弹簧(18)的另一端分别与两个矩形槽的一侧内壁相焊接。

5.根据权利要求1所述的一种空气流量可调的低温等离子体处理装置，其特征在于，多个卡槽(16)呈环形等距离间隔分布，卡块(15)与对应的卡槽(16)相卡装。