[实用新型]一种单向ESD保护器件

摘要

一种单向ESD保护器件，包含上方设P‑外延层一区和P‑调整区的N+衬底材料区；P‑外延层一区和P‑调整区上方各设P‑外延层二区Ⅰ、P‑外延层二区Ⅱ；P‑外延层二区Ⅰ、P‑外延层二区Ⅱ顶部各设N+扩散区、P+扩散区；P‑外延层二区Ⅰ和P‑外延层二区Ⅱ上方分开设表面钝化层，使N+扩散区和P+扩散区顶面中间露出。该中间露出的部位和表面钝化层上方设金属层Ⅰ；N+衬底材料区底部设金属层Ⅱ；N+衬底材料区上设槽区；槽区向上直线延伸，经P‑外延层一区和P‑调整区之间，直至P‑外延层二区顶部边沿。本实用新型可以有效地解决现有的单向ESD保护器件在制造上的难度和参数一致性的问题。