[实用新型]用于激光剥蚀系统的样品冷冻装置有效
| 申请号： | 201921273099.7 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN210375923U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 任德馨;刘朋;陈微言;孔小乐;沈晓峰;胡勇刚 | 申请（专利权）人： | 上海凯来仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/42 | 分类号： | G01N1/42;G05D23/20 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于激光剥蚀系统的样品冷冻装置，包括样品冷冻槽，所述样品冷冻槽内设置有载物台、半导体制冷片和散热系统，所述半导体制冷片的冷端与所述载物台的底部连接，所述半导体制冷片的热端与所述散热系统连接。本实用新型结构简单，体积小，适用于实验室，制冷降温速度快，无需任何制冷剂，可连续工作，工作室无振动、无噪声，使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 剥蚀 系统 样品 冷冻 装置 | ||
【主权项】：
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