[实用新型]用于激光剥蚀系统的样品冷冻装置有效
| 申请号： | 201921273099.7 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN210375923U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 任德馨;刘朋;陈微言;孔小乐;沈晓峰;胡勇刚 | 申请（专利权）人： | 上海凯来仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/42 | 分类号： | G01N1/42;G05D23/20 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 激光 剥蚀 系统 样品 冷冻 装置 | ||
1.用于激光剥蚀系统的样品冷冻装置，其特征在于，包括样品冷冻槽，所述样品冷冻槽内设置有载物台、半导体制冷片和散热系统，所述半导体制冷片的冷端与所述载物台的底部连接，所述半导体制冷片的热端与所述散热系统连接。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述散热系统包括散热片，所述散热片中具有冷却管路，所述冷却管路内具有冷却介质。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述散热片为铝合金。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述冷却管路为硅胶软管。
5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述冷却介质为液体或气体。
6.根据权利要求2-5任一项所述的装置，其特征在于，所述散热系统还包括恒温水箱，所述恒温水箱和所述冷却管路构成循环冷却系统。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述循环冷却系统还包括驱动所述冷却介质在所述冷却管路内循环流动的驱动机构。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品冷冻装置还包括温度控制器，所述温度控制器与所述半导体制冷片电连接，用于调节所述半导体制冷片的所述冷端的温度。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述样品冷冻装置还包括设置在所述载物台内的温度检测单元，所述温度检测单元与所述温度控制器电连接。
10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品冷冻装置具有一竖直贯穿的透光孔。
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