[实用新型]一种用于陶瓷盘运输和储存的自动系统

摘要

本实用新型属于硅片抛光设备领域，具体涉及一种用于陶瓷盘运输和储存的自动系统。包括支架；电控柜设于支架内顶部，用于传输信号及自动控制运输线动作；运输线设有多条，通过安装块水平设于支架内，每条运输线包括多个平行排列且有一定间距的电动滚筒，电动滚筒由电控柜系统控制；运输线两端的支架上各设有陶瓷盘进料口与陶瓷盘出料口；顶出装置设于运输线上，包括气缸及传感器，传感器用于检测陶瓷盘，气缸用于陶瓷盘限位。本实用新型运输部件即电动滚筒，运输平稳，效率高；具有储存功能，且占用空间比较小。用于陶瓷盘位置检测，具有更高的自动化，保证了与上下工序的衔接平稳。