[实用新型]一种用于陶瓷盘运输和储存的自动系统

说明书

本实用新型属于硅片抛光设备领域，具体涉及一种用于陶瓷盘运输和储存的自动系统。包括支架；电控柜设于支架内顶部，用于传输信号及自动控制运输线动作；运输线设有多条，通过安装块水平设于支架内，每条运输线包括多个平行排列且有一定间距的电动滚筒，电动滚筒由电控柜系统控制；运输线两端的支架上各设有陶瓷盘进料口与陶瓷盘出料口；顶出装置设于运输线上，包括气缸及传感器，传感器用于检测陶瓷盘，气缸用于陶瓷盘限位。本实用新型运输部件即电动滚筒，运输平稳，效率高；具有储存功能，且占用空间比较小。用于陶瓷盘位置检测，具有更高的自动化，保证了与上下工序的衔接平稳。

技术领域

本实用新型属于硅片抛光设备领域，具体涉及一种用于陶瓷盘运输和储存的自动系统。

背景技术

在半导体加工领域，把硅棒切割成硅片以后，还需要对硅片进行抛光处理。硅片抛光过程中需要将硅片放在陶瓷盘上进行抛光，因此在整条抛光生产线中存在着陶瓷盘运输这个环节。陶瓷盘的运输效率也影响着硅片的抛光效率，陶瓷盘运输系统的自动化与高效性将在很大程度上提高整条生产线的工作效率，因此实际生产中需要一种陶瓷盘运输的自动系统来满足这种需求。

发明内容

本发明要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种用于陶瓷盘运输和储存的自动系统。

为解决上述技术问题，本发明采用的解决方案是：

提供一种用于陶瓷盘运输和储存的自动系统，包括支架、电控柜、运输线及顶出装置；

电控柜设于支架内顶部，用于传输信号及自动控制运输线动作；

运输线可设置多条，通过安装块水平设于支架内，每条运输线包括多个平行排列且有一定间距的电动滚筒，电动滚筒由电控柜系统控制；运输线两端的支架上各设有陶瓷盘进料口与陶瓷盘出料口；

顶出装置设于运输线上，包括气缸及传感器，传感器用于检测陶瓷盘，气缸用于陶瓷盘限位。

作为一种改进，顶出装置有多个，分设于每条运输线的中部及靠近陶瓷盘出料口处，每个顶出装置的气缸分设于传感器两侧。

作为一种改进，电动滚筒的滚筒为树脂滚筒。

与现有技术相比，本发明的技术效果是：

1、本系统的运输部件即电动滚筒，运输平稳，效率高。

2、本系统分多条运输线，具有储存功能，且占用空间比较小。

3、本系统有传感器，用于陶瓷盘位置检测，具有更高的自动化，保证了与上下工序的衔接平稳。

附图说明

图1为本实用新型的整体示意图。

图2为本实用新型传输线的结构示意图。

附图标记为：1-支架；2-陶瓷盘进料口；3-电控柜；4-陶瓷盘出料口；5-传输线；6-电动滚筒；7-安装块；8-传感器；9-顶出装置。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。

如图1-2所示，一种用于陶瓷盘运输和储存的自动系统，包括支架1、电控柜3、运输线5及顶出装置9。

电控柜3设于支架1内顶部。

运输线有三条，通过安装块7水平设于支架1内，每条运输线包括多个平行排列且有一定间距的电动滚筒6。电动滚筒6的滚筒为树脂滚筒。运输线两端的支架1上各设有陶瓷盘进料口支架2与陶瓷盘出料口4。

顶出装置9设于运输线上，每条运输线上顶出装置9有六个，分设每条运输线的中部及靠近陶瓷盘出料口4处，每个顶出装置9包括气缸及传感器8，气缸有两个，分设于传感器8两侧。