[实用新型]用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置有效
申请号: | 201921191374.0 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN210221049U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 许添;任敬轶 | 申请(专利权)人: | 赛诺威盛科技(北京)有限公司 |
主分类号: | G01B21/24 | 分类号: | G01B21/24 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 赵郁军 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置,该装置包括对齐基准块、金属安装架、调节架、用于调节探测器模块X轴Y轴位移的微调螺钉和弹簧柱塞、用于测量探测器模块X轴Y轴位移量的千分表。本实用新型还提供了一种精密对准装调探测器模块与后准直器的方法,即利用对齐基准块代替后准直器,并在对齐基准块的背面标有刻线标、纵向对齐基准、横向对齐基准,先将对齐基准块与探测器模块精密对准后,再将对齐基准块卸下,安装上后准直器。本实用新型的优点:在实现精密对准的同时,避免对探测器模块上的成像物理像素单元的损伤。 | ||
搜索关键词: | 用于 精密 对准 探测器 模块 后准直器 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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