[实用新型]用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置

权利要求书

1.一种用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：它包括对齐基准块、金属安装架、调节架、用于调节探测器模块X轴Y轴位移的微调螺钉和弹簧柱塞、用于测量探测器模块X轴Y轴位移量的千分表；

所述对齐基准块的背面设有一与后准直器安装基准面的形状、大小对应的凸块，在凸块上设有用于精密对准的水平刻线标，该水平刻线标作为精密对准时的测量基准线；在凸块上开有用于观察的显微镜可视孔，透过该显微镜可视孔可以观察到该水平刻线标；设定该凸块一端的纵向边缘为纵向对齐基准，与所述水平刻线标相对的凸块一侧横向边缘的两端为横向对齐基准，两端的横向对齐基准位于同一条直线上；

探测器模块固定在所述金属安装架上，在金属安装架的顶面、探测器模块成像物理像素单元的上方、垂直金属安装架顶面开有用于容置所述对齐基准块背面凸块的豁口，该豁口的大小、形状与所述对齐基准块背面凸块的大小、形状对应；

当探测器模块固定在所述金属安装架上后，将所述对齐基准块背面的凸块容置在所述金属安装架的豁口内时，所述对齐基准块与探测器模块的成像物理像素单元非接触设置，两者之间具有一定距离；透过所述显微镜可视孔可以观察到所述对齐基准块背面的水平刻线标、纵向对齐基准、横向对齐基准、以及探测器模块的成像物理像素单元的四周边缘；

所述调节架由前、后挡板和左、右端板构成，前、后挡板和左、右端板围成一凹槽，组装在一起的所述对齐基准块和金属安装架容置在该凹槽内；在所述调节架的一侧挡板上安装有若干个弹簧柱塞，与弹簧柱塞相对应，在调节架另一侧挡板上安装有若干个用于调节探测器模块X轴位移的微调螺钉；在调节架的一侧挡板上还安装有用于测量探测器模块X轴位移量的千分表；在调节架的一端端板上安装有若干个弹簧柱塞，与该弹簧柱塞相对应，在调节架另一端端板上安装有若干个用于调节探测器模块Y轴位移的微调螺钉；在调节架的一端端板上还安装有用于测量探测器模块Y轴位移量的千分表。

2.根据权利要求1所述的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：在所述对齐基准块背面凸块的两端分别设置预对齐基准点，与之相对应，在探测器模块上也设置预对齐基准点；

当准备将对齐基准块放置在金属安装架上方时，先将所述对齐基准块上的预对齐基准点对准探测器模块上的预对齐基准点，然后，再通过紧固螺钉将所述对齐基准块与初步固定有探测器模块的所述金属安装架固定在一起。

3.根据权利要求2所述的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：在所述金属安装架的侧壁中间部位贯穿其前后璧开有一用于夹持探测器模块的水平槽；

当探测器模块被放置在所述金属安装架的水平槽内后，通过左、右两个包含垫片的内六角螺钉固定在所述金属安装架的水平槽内。

4.根据权利要求3所述的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：所述微调螺钉为细牙螺纹螺钉。

5.根据权利要求4所述的用于精密对准装调探测器模块与后准直器的装置，其特征在于：它还包括一工具测量显微镜。