[实用新型]一种靶材绑定设备有效

专利信息
申请号: 201921178897.1 申请日: 2019-07-25
公开(公告)号: CN210560713U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 郭宜煌;陈维;郭经军;李丹 申请(专利权)人: 安捷睿(厦门)机器人有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/34
代理公司: 深圳市达文创新知识产权代理事务所(普通合伙) 44396 代理人: 芮爽
地址: 361000 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种靶材绑定设备,其中,包括底座以及固定在所述底座上的背管;所述背管垂直固定在所述底座上,用于套装至少一节旋转靶材;所述靶材绑定设备还包括:对中装置,设置在相邻的两节旋转靶材之间,用于调整所述旋转靶材与所述背管的同心度;输送装置,与所述底座固定相连;所述输送装置包括材料输送管道,与所述背管与套装在所述背管上的所述旋转靶材之间形成的填充腔相连通,所述输送装置将液态的绑定材料通过所述输送管道输入至所述填充腔中,使绑定材料由下至上填充至所述填充腔中。通过本实用新型,由下至上导入绑定材料使得填充均匀、无气泡,以达到良好的绑定效果,多节靶材绑定可同时进行,有效提高绑定效率。
搜索关键词: 一种 绑定 设备
【主权项】:
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