[实用新型]一种靶材绑定设备

说明书

本实用新型公开了一种靶材绑定设备，其中，包括底座以及固定在所述底座上的背管；所述背管垂直固定在所述底座上，用于套装至少一节旋转靶材；所述靶材绑定设备还包括：对中装置，设置在相邻的两节旋转靶材之间，用于调整所述旋转靶材与所述背管的同心度；输送装置，与所述底座固定相连；所述输送装置包括材料输送管道，与所述背管与套装在所述背管上的所述旋转靶材之间形成的填充腔相连通，所述输送装置将液态的绑定材料通过所述输送管道输入至所述填充腔中，使绑定材料由下至上填充至所述填充腔中。通过本实用新型，由下至上导入绑定材料使得填充均匀、无气泡，以达到良好的绑定效果，多节靶材绑定可同时进行，有效提高绑定效率。

技术领域

本实用新型涉及一种靶材绑定设备。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材通常有两类：平面靶材和旋转靶材，由于平面靶的利用率只有20-30％，因此，旋转靶逐渐成为工业化镀膜行业的主流产品。

磁控溅射镀膜靶材在使用时，需要将靶材与背管绑定，来满足生产设备的安装及导电、散热要求，目前最常用的绑定方法是用铟或锡作为绑定材料。因此，靶材与背管的绑定技术就成为了关键技术，直接影响靶材的正常使用。

在旋转靶材与背管绑定过程中，现有技术多是将背管垂直放置，管状靶材由上而下套到不锈钢背管上，对不锈钢背管和单节靶材进行加热，把熔化了的绑定材料分别涂在不锈钢背管外表面和靶材内表面，再对其分段加热，将熔化后的液态绑定材料灌入靶材和不锈钢背管间隙内，然后冷却，达到将靶材与不锈钢背管焊接为一体的目的。如此反复，一节节的靶材就被焊接在不锈钢背管上。

这种方法存在以下不足之处：一方面，旋转靶与背管之间的绑定是整个环形面的接触焊合，很容易产生气泡、疏松，使得背管效能降低甚至脱落。另一方面，旋转靶材的绑定一般以旋转靶材和背管为模具，靶材与背管之间需要浇铸成型的金属层作为连结层，所以旋转靶材长度越长，管壁越薄，浇铸的均匀性越难控制，绑定焊合率越低，有些靶材绑定过长时还会发生变形。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种靶材绑定设备，可对旋转靶材进行邦迪，适应各种长度的旋转靶材，绑定效果好，解决了上述现有技术中存在的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种靶材绑定设备，包括底座以及固定在所述底座上的背管；所述背管垂直固定在所述底座上，用于套装至少一节旋转靶材；所述靶材绑定设备还包括：对中装置，设置在相邻的两节旋转靶材之间，用于调整所述旋转靶材与所述背管的同心度；输送装置，与所述底座固定相连；所述输送装置包括材料输送管道，与所述背管与套装在所述背管上的所述旋转靶材之间形成的填充腔相连通，所述输送装置将液态的绑定材料通过所述输送管道输入至所述填充腔中，使绑定材料由下至上填充至所述填充腔中。

其中，所述对中装置包括呈半圆形的左固定部件和右固定部件，所述左固定部件和右固定部件通过紧固件锁紧，以套装在所述背管上。

其中，所述左固定部件和所述右固定部件均包括内卡圈和外卡座；其中，所述内卡圈设置在所述外卡座的内圆面，包括内圆凸面和内圆凹面；所述外卡座的内圆面与所述内圆凸面为同心圆；当所述左固定部件和右固定部件锁紧时，所述内圆凸面与所述背管的表面贴合，所述内圆凹面与所述背管表面形成缝隙，所述外卡座的内圆面与所述背管形成同心圆。

其中，相邻的两节所述旋转靶材之间还设置一密封件，所述密封件为圆环形状，套设在所述背管上。

其中，所述左固定部件和所述右固定部件均包括密封件卡槽，设置在所述外卡座的内圆面；当所述左固定部件和右固定部件锁紧时，所述左固定部件的密封件卡槽与所述右固定部件的密封件卡槽形成环形卡槽以容纳所述密封件。

其中，还包括加压装置，与位于最上端的所述旋转靶材接触。