[实用新型]一种真空镀膜旋转装置有效

专利信息
申请号: 201921172847.2 申请日: 2019-07-24
公开(公告)号: CN210711723U 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 王晖 申请(专利权)人: 浙江法德装备科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C16/458
代理公司: 湖州长兴西木子知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33325 代理人: 韩燕燕
地址: 313100 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种真空镀膜旋转装置;一种真空镀膜旋转装置,其包括工件转台、定位件和传动件,工件转台通过定位件设置于传动件顶部,工件转台包括连接件和载物单元,其还包括联动组件,联动组件包括:底座,底座指向工件转台的一端面上开设有凹槽;以及连杆,连杆垂直贯穿连接件滑动设置于连接件内,其位于载物单元的一侧,且其底部与凹槽抵触设置,该连杆底部沿凹槽的环形轨迹滑动同时带动放置区转动;本实用新型通过工件转台转动的同时,连杆在凹槽内滑动作上下滑动,同时带动放置区转动,放置区不仅能跟随工件转台转动,同时还能够在载物单元上转动,使得镀膜充分,提高镀膜效果。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 旋转 装置
【主权项】:
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