[实用新型]一种真空镀膜旋转装置有效
申请号: | 201921172847.2 | 申请日: | 2019-07-24 |
公开(公告)号: | CN210711723U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 王晖 | 申请(专利权)人: | 浙江法德装备科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 湖州长兴西木子知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33325 | 代理人: | 韩燕燕 |
地址: | 313100 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种真空镀膜旋转装置;一种真空镀膜旋转装置,其包括工件转台、定位件和传动件,工件转台通过定位件设置于传动件顶部,工件转台包括连接件和载物单元,其还包括联动组件,联动组件包括:底座,底座指向工件转台的一端面上开设有凹槽;以及连杆,连杆垂直贯穿连接件滑动设置于连接件内,其位于载物单元的一侧,且其底部与凹槽抵触设置,该连杆底部沿凹槽的环形轨迹滑动同时带动放置区转动;本实用新型通过工件转台转动的同时,连杆在凹槽内滑动作上下滑动,同时带动放置区转动,放置区不仅能跟随工件转台转动,同时还能够在载物单元上转动,使得镀膜充分,提高镀膜效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 旋转 装置 | ||
【主权项】:
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