[实用新型]一种真空镀膜旋转装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜旋转装置；一种真空镀膜旋转装置，其包括工件转台、定位件和传动件，工件转台通过定位件设置于传动件顶部，工件转台包括连接件和载物单元，其还包括联动组件，联动组件包括：底座，底座指向工件转台的一端面上开设有凹槽；以及连杆，连杆垂直贯穿连接件滑动设置于连接件内，其位于载物单元的一侧，且其底部与凹槽抵触设置，该连杆底部沿凹槽的环形轨迹滑动同时带动放置区转动；本实用新型通过工件转台转动的同时，连杆在凹槽内滑动作上下滑动，同时带动放置区转动，放置区不仅能跟随工件转台转动，同时还能够在载物单元上转动，使得镀膜充分，提高镀膜效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜旋转装置。

背景技术

工件的使用寿命主要取决于耐磨性和硬度，而真空镀膜工艺是提高工件的耐磨性和硬度的常用方式，在真空镀膜过程中，真空镀膜工件转台发挥着重要的作用，现有的真空镀膜工件转台通常包括电机、传动基座、真空室和载物台，电机通过传动带驱动传动基座中的驱动转轴旋转，驱动转轴带动载物台旋转。

在申请号为CN201821109724.X的实用新型中公开了一种新式真空镀膜工件转台，包括：承接组件，所述承接组件包括传动件和与所述传动件固定连接的定位件；以及安装组件，所述安装组件包括与所定位件配合插设的滑动件和设置在所述滑动件上方且与所述滑动件固定连接的载物件；所述滑动件与所述定位件垂直设置且可拆卸连接；

但是，上述实用新型在实际使用过程中，工件在工件转台上只是跟随工件转台转动，其相对工件转台为相对静止状态，在镀膜时会产生镀膜不充分的情况。

实用新型内容

针对以上问题，本实用新型提供了一种真空镀膜旋转装置，其通过工件转台转动的同时，连杆在凹槽内滑动作上下滑动，同时带动放置区转动，解决了上述实用新型工件镀膜不充分的技术问题，放置区不仅能跟随工件转台转动，同时还能够在载物单元上转动，使得镀膜充分，提高镀膜效果。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空镀膜旋转装置，其包括工件转台、定位件和传动件，所述工件转台通过定位件设置于所述传动件顶部，所述传动件由驱动设备带动所述工件转台转动，所述传动件通过传动臂与驱动设备连接设置，所述工件转台包括连接件和载物单元，所述连接件设置于所述工件转台上，其跟随所述工件转台同步转动，所述载物单元可拆卸设置于所述连接件中部，其跟随所述连接件同步转动，该载物单元沿其长度方向转动设置有用于放置工件的放置区，其还包括联动组件，所述联动组件包括：

底座，所述底座设置于所述传动臂上，其位于所述工件转台的下方，该底座指向所述工件转台的一端面上开设有凹槽；以及

连杆，所述连杆垂直贯穿所述连接件滑动设置于所述连接件内，其位于所述载物单元的一侧，且其底部与所述凹槽抵触设置，该连杆底部沿所述凹槽的环形轨迹滑动同时带动所述放置区转动。

作为改进，所述工件转台通过定位销与所述定位件连接设置，该定位销沿所述工件转台圆周阵列设置，所述定位件上开设有与所述定位销一一对应且配合设置的定位孔。

作为改进，所述连接件与所述载物单元均沿着所述工件转台的圆周阵列设置，且所述连接件与所述载物单元一一对应设置。

作为改进，所述凹槽呈凹凸面，其带动所述连杆作上下滑动。

作为改进，所述连杆底部呈球面。

作为改进，所述放置区沿所述载物单元的长度方向阵列设置。

作为改进，所述放置区呈圆柱形，沿所述放置区的圆周表面设置有齿圈。

作为改进，所述连杆上部沿其长度方向设置有啮齿区间，该啮齿区间与所述齿圈啮合设置。

本实用新型的有益效果在于：