[实用新型]一种晶圆搬运机械手有效
| 申请号： | 201921153647.2 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN210551302U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 尹诚诚;周卫国;刘冬梅;王强;董纯洁 | 申请（专利权）人： | 北京锐洁机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/02 | 分类号： | B25J15/02;B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 盛明星 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种晶圆搬运机械手，包括旋转夹持组件以及用于驱动旋转夹持组件转动的旋转电机，旋转夹持组件包括轴承组件，轴承组件的内壁安装有滚珠花键；滚珠花键包括花键轴以及滚动安装在花键轴外壁的花键外筒，旋转电机用于驱动花键外筒旋转，花键外筒上安装有随花键外筒同步旋转并用于支撑晶圆内端侧壁的固定手指以及用于支撑晶圆外端侧壁的夹持手指，花键轴上连接有用于推动夹持手指水平移动的夹持气缸；且旋转电机上连接有编码器，编码器电性连接有控制器，控制器电性连接旋转电机和夹持气缸，本实用新型可完成各个角度的无级式转动，采用非接触的夹紧搬运方式，提高翻转精度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 搬运 机械手 | ||
【主权项】：
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