[实用新型]一种晶圆搬运机械手有效
| 申请号： | 201921153647.2 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN210551302U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 尹诚诚;周卫国;刘冬梅;王强;董纯洁 | 申请（专利权）人： | 北京锐洁机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/02 | 分类号： | B25J15/02;B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 盛明星 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 搬运 机械手 | ||
1.一种晶圆搬运机械手，包括旋转夹持组件(1)以及用于驱动所述旋转夹持组件(1)转动的旋转电机(2)，其特征在于:
所述旋转夹持组件(1)包括轴承组件(3)，所述轴承组件(3)的内壁安装有滚珠花键(5)；所述滚珠花键(5)包括花键轴(502)以及滚动安装在花键轴(502)外壁的花键外筒(501)，所述旋转电机(2)用于驱动花键外筒(501)旋转，所述花键外筒(501)上安装有随花键外筒(501)同步旋转并用于支撑晶圆内端侧壁的固定手指(4)以及用于支撑晶圆外端侧壁的夹持手指(6)，所述花键轴(502)上连接有用于推动夹持手指(6)水平移动的夹持气缸(7)；且所述旋转电机(2)上连接有编码器(8)，所述编码器(8)电性连接有控制器(9)，所述控制器(9)电性连接所述旋转电机(2)和夹持气缸(7)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手，其特征在于：所述旋转电机(2)为步进电机，所述步进电机的输出端通过减速电机(10)连接所述旋转夹持组件(1)，且所述编码器(8)安装在减速电机(10)的转轴上。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手，其特征在于：所述轴承组件(3)包括轴承座(301)，所述轴承座(301)的内侧壁设置第一轴承(302)和第二轴承(303)，所述第一轴承(302)预压在花键外筒(501)的一端侧壁，所述第二轴承(303)预压在花键外筒(501)的另一端侧壁。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手，其特征在于：还包括基板(11)，所述控制器(9)与基板(11)一体成型，所述控制器(9)上设置有电性连接所述编码器(8)、旋转电机(2)和夹持气缸(7)的通讯串口。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运机械手，其特征在于：所述轴承组件(3)和滚珠花键(5)之间设置有防水密封垫(12)。
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