[实用新型]激光扫描系统及具有其的激光雕刻系统

摘要

本实用新型提供了一种激光扫描系统及具有其的激光雕刻系统。该激光扫描系统包括：Z轴单元，位于激光束的光轴上，用于改变焦点在z轴方向的位置，定义光轴为第一光轴；振镜组件，位于Z轴单元一侧的第一光轴上，激光束在经过振镜组件后由第一光轴偏转为第二光轴，振镜组件用于改变焦点在x轴方向和y轴方向的位置；场镜，位于振镜组件与工件之间的第二光轴上，用于聚焦被振镜组件偏转的激光束以形成焦点；成像单元，用于采集被工件反射的照明光束以进行成像。本实用新型在三轴振镜中增加了成像单元，通过获取工件表面的图像信息，方便对工件进行观察并基于图像进行工件定位，从而对工件进行加工时具有加工深度大、加工精度高以及加工准确度高的优点。