[实用新型]激光扫描系统及具有其的激光雕刻系统

权利要求书

1.一种激光扫描系统，激光束通过所述激光扫描系统在工件(8)上形成焦点，其特征在于，定义所述工件(8)位于由x轴、y轴和z轴构成的三维坐标系中，所述激光扫描系统包括：

Z轴单元(1)，位于所述激光束的光轴上，用于改变所述激光束的发散角，从而改变所述激光束在z轴方向的聚焦位置，定义所述光轴为第一光轴；

振镜组件(3)，位于所述Z轴单元(1)一侧的所述第一光轴上，所述激光束在经过所述振镜组件(3)后由所述第一光轴偏转为第二光轴，所述振镜组件(3)用于改变所述焦点在x轴方向和y轴方向的位置；

场镜(4)，位于所述振镜组件(3)与所述工件(8)之间的所述第二光轴上，用于聚焦被所述振镜组件(3)偏转的激光束以形成所述焦点；

成像单元(2)，用于采集被所述工件(8)反射的照明光束以进行成像。

2.根据权利要求1所述的激光扫描系统，其特征在于，所述第一光轴与所述第二光轴垂直。

3.根据权利要求1或2所述的激光扫描系统，其特征在于，所述振镜组件(3)包括：

x轴振镜，位于所述场镜(4)远离所述工件(8)的一侧，所述第一光轴经所述x轴振镜后偏转为第三光轴，所述x轴振镜用于反射所述激光束以改变所述焦点在x轴方向的位置；

y轴振镜，所述第三光轴经所述y轴振镜后偏转为所述第二光轴，所述y轴振镜用于进一步反射所述激光束以改变所述焦点在y轴方向的位置。

4.根据权利要求3所述的激光扫描系统，其特征在于，所述振镜组件(3)还包括第一电机和第二电机，所述第一电机与所述x轴振镜连接，用于控制所述x轴振镜的偏转角度，所述第二电机与所述y轴振镜连接，用于控制所述y轴振镜的偏转角度，所述Z轴单元(1)包括：

扩束器，位于所述激光束的光轴上，用于将所述激光束扩束并改变所述激光束的发散角；

控制器，分别与所述第一电机和所述第二电机连接，用于控制所述焦点在三维坐标系中的位置。

5.根据权利要求1所述的激光扫描系统，其特征在于，所述成像单元(2)包括：

合束镜(7)，位于所述振镜组件(3)与所述Z轴单元(1)之间的所述第一光轴上，用于反射所述照明光束，所述合束镜(7)靠近所述Z轴单元(1)的第一镜面透过所述激光束，所述合束镜(7)靠近所述振镜组件(3)的第二镜面反射所述照明光束并透过所述激光束；

成像模块，位于所述合束镜(7)的一侧，用于采集被所述合束镜(7)反射的所述照明光束以进行成像。

6.根据权利要求5所述的激光扫描系统，其特征在于，所述合束镜(7)的镜面与所述第一光轴之间的夹角为45°。

7.根据权利要求5所述的激光扫描系统，其特征在于，所述成像模块包括：

成像物镜(5)，位于所述合束镜(7)的一侧，用于将被所述第二镜面反射的所述照明光束聚焦；

CCD相机(6)，位于所述成像物镜(5)远离所述合束镜(7)的一侧，用于采集聚焦的所述照明光束以进行成像。

8.根据权利要求1或2所述的激光扫描系统，其特征在于，所述激光扫描系统还包括激光光源，所述激光光源位于所述Z轴单元(1)远离所述振镜组件(3)的一侧，用于发射具有所述第一光轴的所述激光束。

9.根据权利要求1所述的激光扫描系统，其特征在于，所述激光扫描系统还包括照明光源，所述照明光源为波长为635nm的镭射灯。

10.一种激光雕刻系统，其特征在于，具有权利要求1至9中任一项所述的激光扫描系统，激光束通过所述激光扫描系统对所述工件(8)上进行雕刻。