[实用新型]半导体封装设备中的合模机构有效
申请号: | 201921109961.0 | 申请日: | 2019-07-16 |
公开(公告)号: | CN210110725U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 鲍永峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市曜通科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F16H21/16 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 林栋;张鹏 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了半导体封装设备中的合模机构,包括底板和动模板,还包括曲肘机构、螺杆、传动件和伺服电机,螺杆可转动设于底板上,伺服电机固定在底板上并连接螺杆,传动件上设有与螺杆相配合的内螺纹,传动件套设在螺杆上;曲肘机构包括转动连接的曲肘组件和连杆,曲肘组件包括转动连接的上曲肘和下曲肘,上曲肘与动模板转动连接,下曲肘与底板转动连接,连杆与传动件转动连接。本实用新型提供的半导体封装设备中的合模机构,不会出现液压油污染半导体条料及外界环境的情况,十分环保;特别适用于高温工况,利于提高半导体封装设备的合模精度,提高产品的良品率;结构简单、便于维护,工作稳定、无噪音。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 设备 中的 机构 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造