[实用新型]一种晶圆缺陷检测装置

摘要

本实用新型属于晶圆检测设备技术领域，尤其为一种晶圆缺陷检测装置，包括密封箱与晶圆本体，所述伸缩杆输出轴侧表面架设有驱动电机，所述伸缩杆的输出轴上套接有转盘，所述晶圆本体放置在转盘的上表面，所述辅助架的底面固定有X光测量头，所述X光测量头的一侧位于辅助架的底面设架设有摄像头，所述辅助架的两侧位于密封箱的内表面架设有补光板；X光测量头对晶圆本体的内部进行裂纹检测，补光板与第二补光灯给予不同角度的光照，便于灰尘暴露在拍摄图像中，密封箱、密封门、密封盖板对设备进行光线隔离，避免外界的光线对摄像头的拍摄造成干扰，提升数据的准确性。