[实用新型]一种晶圆缺陷检测装置

权利要求书

1.一种晶圆缺陷检测装置，包括密封箱(1)与晶圆本体(5)，其特征在于：所述密封箱(1)内部架设有传动带(4)，所述传动带(4)的两端贯穿密封箱(1)的侧壁到达密封箱(1)的外部，所述密封箱(1)的两侧表面通过螺栓固定有密封盖板(3)，所述密封箱(1)的内底面通过螺栓固定有伸缩杆(10)，所述伸缩杆(10)输出轴侧表面架设有驱动电机(11)，所述伸缩杆(10)的输出轴上套接有转盘(12)，所述晶圆本体(5)放置在转盘(12)的上表面，所述晶圆本体(5)的上方位于密封箱(1)的内壁架设有辅助架(6)，所述辅助架(6)的底面固定有X光测量头(7)，所述X光测量头(7)的一侧位于辅助架(6)的底面设架设有摄像头(8)，所述辅助架(6)的两侧位于密封箱(1)的内表面架设有补光板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述密封盖板(3)为空心构件，密封盖板(3)由两个U型构件相互嵌合拼接构成。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述密封箱(1)为空心的长方体构件，所述密封箱(1)的一侧表面通过转轴固定有密封门(2)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述转盘(12)的下端侧表面开设有齿轮轮齿，所述驱动电机(11)的输出轴上套接有齿轮盘，所述驱动电机(11)通过齿轮盘与转盘(12)保持啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述辅助架(6)为长方体构件，所述摄像头(8)均匀的架设在辅助架(6)的下端，两个所述摄像头(8)之间位于辅助架(6)的底面架设有第二补光灯(13)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述补光板(9)设有两条，所述补光板(9)以倾斜的角度固定在密封箱(1)的内壁，两个所述补光板(9)以辅助架(6)为对称轴对称。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于：所述传动带(4)设有两条，两条所述传动带(4)对称架设在伸缩杆(10)的两侧。