[实用新型]准分子激光器的窗片更换装置

摘要

本实用新型提供了准分子激光器的窗片更换装置，窗片更换装置包括结构相同的第一窗片更换装置和第二窗片更换装置，第一窗片更换装置包括第一固定装置、第二固定装置、隔离装置，第一固定装置一端与放电腔固定连接，另一端与第二固定装置连接，第一固定装置和第二固定装置之间设置窗片，第一固定装置内还设置光路通道，隔离装置可移动的设置在第一固定装置内，使隔离装置、窗片及第一固定装置之间形成第一密封腔，窗片更换装置还包括连接两端更换装置的管路系统。本实用新型的窗片更换装置仅需要对布儒斯特窗周围的很小体积进行清洗，清洗气体消耗极少，而且更换窗片后不需要对放电腔进行钝化，减少了时间和成本。