[实用新型]准分子激光器的窗片更换装置

权利要求书

1.准分子激光器的窗片更换装置，其特征在于，包括两窗片更换装置及连接两窗片更换装置的管路系统，两窗片更换装置分别设置在所述准分子激光器的放电腔的两端，

所述窗片更换装置包括第一固定装置、第二固定装置、隔离装置，所述第一固定装置一端与放电腔固定连接，另一端与第二固定装置连接，所述第一固定装置和第二固定装置之间设置窗片，且窗片固定在第二固定装置上；所述第一固定装置内设置光路通道，所述光路通道由放电腔开口延伸至窗片；

所述隔离装置可移动的设置在第一固定装置内，用于阻隔光路通道，使所述隔离装置、窗片及第一固定装置之间形成第一密封腔；

所述管路系统包括连通放电腔两端第一密封腔的管路，和设置在所述管路上的第一控制阀和压力传感器，所述第一控制阀连接真空装置和/或清洗装置。

2.如权利要求1所述的准分子激光器的窗片更换装置，其特征在于，所述隔离装置包括外壳、密封块、压缩装置，所述外壳为两端开口的筒体，所述筒体的一端与第一固定装置连接，另一端可供压缩装置沿其轴向运动，所述密封块一端与压缩装置连接，另一端伸入第一固定装置内。

3.如权利要求2所述的准分子激光器的窗片更换装置，其特征在于，所述压缩装置包括支撑杆、压缩板、波纹管，所述压缩板设置在外壳内，可沿着外壳内壁移动，压缩板的一端与支撑杆连接，另一端与密封块连接，所述波纹管对称的设置在压缩板与第一固定装置之间。

4.如权利要求3所述的准分子激光器的窗片更换装置，其特征在于，所述隔离装置还包括限位槽，所述限位槽设置在压缩板上，用于对支撑杆进行限位。

5.如权利要求3所述的准分子激光器的窗片更换装置，其特征在于，所述第一固定装置分别与放电腔、窗片、密封块及波纹管之间通过密封圈连接。

6.如权利要求1所述的准分子激光器的窗片更换装置，其特征在于，所述管路系统还包括第二控制阀，所述第二控制阀设置在所述第一密封腔和管路之间，用于控制所述第一密封腔和管路的通断。

7.如权利要求1所述的准分子激光器的窗片更换装置，其特征在于，所述管路的材质为不锈钢。