[实用新型]石英晶片抛光研磨在线测频系统有效
| 申请号: | 201921058634.7 | 申请日: | 2019-07-08 |
| 公开(公告)号: | CN210604779U | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
| 发明(设计)人: | 郭彬;陈一信;潘凌锋;陈浙泊;颜文俊;林斌 | 申请(专利权)人: | 浙江大学台州研究院 |
| 主分类号: | G01R23/06 | 分类号: | G01R23/06 |
| 代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
| 地址: | 318000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种石英晶片抛光研磨在线测频系统,包括DDS信号模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、阻抗匹配模块、信号处理模块、MCU控制系统模块和用于为以上模块提供工作电压的电源模块,所述DDS信号模块根据MCU控制系统模块发出指定的扫频指令产生指定频率范围和扫频速度,输出功率的正弦扫频信号,经过射频功率放大模块把DDS信号模块产生的谐振信号进行功率放大,功率放大后的信号连接到π网络接口电路模块,正弦扫频信号通过π网络作用在晶片上使其产生机械振动,同时晶片的机械振动又产生交变电场,当外加的正选扫频信号频率为某一特定值的时候,振幅明显增大,当产生振幅明显增大的信号时,再去捕获有效信号。 | ||
| 搜索关键词: | 石英 晶片 抛光 研磨 在线 系统 | ||
【主权项】:
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