[实用新型]一种多晶铸锭炉的节能真空泵有效
申请号: | 201921054342.6 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN210287581U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 方素峰 | 申请(专利权)人: | 浙江巨瑜电子有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 324300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及多晶铸锭炉领域,公开了一种多晶铸锭炉的节能真空泵,针对现有技术中的多晶铸锭炉用真空泵配置不利于节能和缺乏噪音消除装置的问题,现提出如下方案,其包括多个炉体、安装座和真空泵,多个所述炉体的一侧均固定有固定管,所述固定管上安装有阀门,所述安装座的底部安装有四个支撑脚,所述真空泵固定于安装座的顶部,所述真空泵的外部罩设有降噪壳,降噪壳与安装座的顶部固定连接,所述降噪壳的一侧底部开设有安装槽,所述真空泵的进气口固定有真空管。本实用新型结构合理,设计巧妙,操作简单,解决了现有技术中的多晶铸锭炉用真空泵配置不利于节能和缺乏噪音消除装置的问题,易于推广使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 节能 真空泵 | ||
【主权项】:
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