[实用新型]一种多晶铸锭炉的节能真空泵有效
申请号: | 201921054342.6 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN210287581U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 方素峰 | 申请(专利权)人: | 浙江巨瑜电子有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 324300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 节能 真空泵 | ||
1.一种多晶铸锭炉的节能真空泵,包括多个炉体(1)、安装座(2)和真空泵(3),其特征在于,多个所述炉体(1)的一侧均固定有固定管(6),所述固定管(6)上安装有阀门(7),所述安装座(2)的底部安装有四个支撑脚(4),所述真空泵(3)固定于安装座(2)的顶部,所述真空泵(3)的外部罩设有降噪壳(11),降噪壳(11)与安装座(2)的顶部固定连接,所述降噪壳(11)的一侧底部开设有安装槽(15),所述真空泵(3)的进气口固定有真空管(10),真空管(10)的一端贯穿安装槽(15)延伸至降噪壳(11)的外部,所述真空管(10)的另一端固定有总管道(9),所述总管道(9)的底侧固定有多个连接管(8),多个连接管(8)的另一端分别与多个固定管(6)的另一端固定连接,所述降噪壳(11)的远离安装槽(15)的一侧开设有散热孔(14),所述散热孔(14)的外部固定有风扇(13)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉的节能真空泵,其特征在于,所述安装座(2)的底面开设有四个缓冲孔(5),四个所述支撑脚(4)的一端分别延伸至四个缓冲孔(5)的内部,且支撑脚(4)与缓冲孔(5)之间滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉的节能真空泵,其特征在于,所述支撑脚(4)位于缓冲孔(5)内部的一端固定有弹簧,所述弹簧的另一端与缓冲孔(5)的顶部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉的节能真空泵,其特征在于,所述降噪壳(11)的内壁上粘接有消音材料(16),消音材料(16)采用消音棉制作。
5.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉的节能真空泵,其特征在于,所述降噪壳(11)的顶部两侧均固定有固定环(12)。
6.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉的节能真空泵,其特征在于,所述降噪壳(11)与安装座(2)之间通过螺钉固定连接。
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