[实用新型]铁电电容阵列、铁电存储单元和铁电存储器

摘要

本实用新型公开一种铁电电容阵列、铁电存储单元和铁电存储器。其中，在铁电电容阵列的方案中，所述铁电电容阵列包括：第一极板，所述第一极板包括用于金属互连的若干第一电极，以及覆于所述若干第一电极上的第一金属内衬层；铁电介质层，所述铁电介质层覆于所述第一金属内衬层上；若干第二极板，所述第二极板包括覆于所述铁电介质层上的第二金属内衬层，以及覆于所述第二金属内衬层上的、用于金属互连的第二电极。通过共用第一极板，可方便地构成铁电电容阵列，既可提高阵列的密度，进而提高铁电存储器的容量，又可简化制备工艺流程，减少工艺步骤，降低制备成本。