[实用新型]一种金刚石单晶生长装置有效
| 申请号: | 201921036685.X | 申请日: | 2019-07-04 |
| 公开(公告)号: | CN211170964U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
| 发明(设计)人: | 刘小利 | 申请(专利权)人: | 常州宝颐金刚石科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C30B25/16;C30B25/02 |
| 代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 薛芳芳 |
| 地址: | 213002 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型属于金刚石单晶生长技术领域,尤其是一种金刚石单晶生长装置,针对现有的CVD金刚石单晶的进展较慢,无法在较短的时间和低成本上获得大尺寸CVD金刚石单晶,主要是在人工合成的过程中对压力控制不准确的问题,现提出如下方案,其包括壳体,所述壳体两侧内壁上固定安装有加热盘管,所述壳体的底部内壁上固定安装有固定座,所述固定座的顶部放置有石墨块和金属触媒块,且金属触媒块叠放在石墨块的顶部,所述金属触媒块的顶部设置有压紧组件。本实用新型结构简单,通过可以将石墨块和金属触媒块紧密贴合,便于两者互溶,同时在壳体内的气压超过指定的数值时会报警,进而工作人员便于对晶体的生长环境的压力进行严格控制。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 金刚石 生长 装置 | ||
【主权项】:
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