[实用新型]一种新型4寸磷扩石英舟

摘要

本实用新型公开了一种新型4寸磷扩石英舟，涉及石英舟领域，针对现有的磷扩后结深的均匀度不够的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部开设有等距设置的连通孔，所述底座顶部两侧的边缘处均固定有横梁，两个所述横梁的两端之间均固定有竖向设置的横板，且横板与底座固定连接，两个所述横板相互靠近的一侧均开设有矩形口，两个所述横板相互远离的一侧均连接有固定在底座上的罩壳，所述罩壳的内部设有开设在底座上的气孔，本实用新型，在各部件的共同作用下，使其在炉管中各部分接触气体的氛围一致，使晶片在磷扩时扩散速度一致，提高磷面各点浓度的均匀性，进而提高晶片结深的一致性。