[实用新型]一种新型4寸磷扩石英舟有效
申请号: | 201921030676.X | 申请日: | 2019-07-04 |
公开(公告)号: | CN210194037U | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 曹孙根;张俊超;陈松 | 申请(专利权)人: | 安徽钜芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/14 | 分类号: | C30B31/14 |
代理公司: | 六安市新图匠心专利代理事务所(普通合伙) 34139 | 代理人: | 朱小杰 |
地址: | 247100 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 寸磷扩 石英 | ||
1.一种新型4寸磷扩石英舟,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的顶部开设有等距设置的连通孔(5),所述底座(1)顶部两侧的边缘处均固定有横梁(2),两个所述横梁(2)的两端之间均固定有竖向设置的横板(3),且横板(3)与底座(1)固定连接,两个所述横板(3)相互靠近的一侧均开设有矩形口(6),两个所述横板(3)相互远离的一侧均连接有固定在底座(1)上的罩壳(4),所述罩壳(4)的内部设有开设在底座(1)上的气孔(7)。
2.根据权利要求1所述的一种新型4寸磷扩石英舟,其特征在于,所述连通孔(5)开设有三个,且三个连通孔(5)位于两个横板(3)之间。
3.根据权利要求1所述的一种新型4寸磷扩石英舟,其特征在于,两个所述横梁(2)上均等距开设有放置槽口,且两个横梁(2)的放置槽口相对应。
4.根据权利要求1所述的一种新型4寸磷扩石英舟,其特征在于,所述矩形口(6)的底部延伸至横板(3)的底边缘,所述横板(3)的高度高于横梁(2)的高度。
5.根据权利要求1所述的一种新型4寸磷扩石英舟,其特征在于,所述罩壳(4)的外表面成弧形状结构,且罩壳(4)固定在底座(1)的端部。
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