[实用新型]一种芯片及MEMS阳极键合设备有效
| 申请号： | 201921021629.9 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN210516676U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 陈立国;薛立伟;刘银龙 | 申请（专利权）人： | 苏州迪纳精密设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片及MEMS阳极键合设备，包括设备外壳，所述设备外壳的一侧壁上固定连接有显示屏，所述显示屏的两侧均设有导电限位框，且导电限位框固定连接在设备外壳的侧壁上，所述设备外壳与地线电性连接，一对所述导电限位框内滑动连接有导电柱，所述导电柱与导电限位框相接触，所述导电柱上固定连接有与显示屏相匹配的导电硅胶环，所述导电硅胶环上包裹有导电无纺布，所述导电柱上转动连接有把手架，所述设备外壳上固定连接有与导电硅胶环相匹配的集尘收纳板；本实用新型中的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其增加了显示屏的除静电除尘装置，结构简单，成本低，效果好，大幅提升了除尘和除静电的效率，保证了使用的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 mems 阳极 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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