[实用新型]一种芯片及MEMS阳极键合设备有效
| 申请号： | 201921021629.9 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN210516676U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 陈立国;薛立伟;刘银龙 | 申请（专利权）人： | 苏州迪纳精密设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 mems 阳极 设备 | ||
1.一种芯片及MEMS阳极键合设备，包括设备外壳(1)，其特征在于，所述设备外壳(1)的一侧壁上固定连接有显示屏(2)，所述显示屏(2)的两侧均设有导电限位框(3)，且导电限位框(3)固定连接在设备外壳(1)的侧壁上，所述设备外壳(1)与地线电性连接，一对所述导电限位框(3)内滑动连接有导电柱(4)，所述导电柱(4)与导电限位框(3)相接触，所述导电柱(4)上固定连接有与显示屏(2)相匹配的导电硅胶环(5)，所述导电硅胶环(5)上包裹有导电无纺布(9)，所述导电柱(4)上转动连接有把手架(6)，所述设备外壳(1)上固定连接有与导电硅胶环(5)相匹配的集尘收纳板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其特征在于，所述导电无纺布(9)的一侧固定连接有尼龙贴公扣(901)，所述导电无纺布(9)的另一侧固定连接有尼龙贴母扣(902)，所述尼龙贴公扣(901)和尼龙贴母扣(902)分别位于导电无纺布(9)的两端。
3.根据权利要求1所述的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其特征在于，所述把手架(6)为导电材料。
4.根据权利要求1所述的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其特征在于，所述把手架(6)上刻有防滑纹。
5.根据权利要求1所述的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其特征在于，所述设备外壳(1)上固定连接有键鼠放置板(7)，所述键鼠放置板(7)位于显示屏(2)的下侧。
6.根据权利要求5所述的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其特征在于，所述键鼠放置板(7)上铺设有防滑垫。
7.根据权利要求1所述的一种芯片及MEMS阳极键合设备，其特征在于，所述集尘收纳板(8)上端与导电限位框(3)下端之间的距离数值小于导电柱(4)的直径数值。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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