[实用新型]一种全自动ITO蚀刻机有效
申请号: | 201920996159.1 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN210817973U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 陶雄兵;周欣;徐俊南;赖程飞;李万朋;严达荣;但春果;钱建宣 | 申请(专利权)人: | 鞍山盛雄激光设备有限公司 |
主分类号: | B23K26/362 | 分类号: | B23K26/362;B23K26/70 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 黄忠;沈闯 |
地址: | 114000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本申请提供了一种全自动ITO蚀刻机,包括:立柱,固定于所述立柱上的Z轴升降组件;所述Z轴升降组件上方固定有激光器座,并与工作平台固定连接;所述激光器座中设有两个激光器;所述立柱还固定连接支撑平台,所述支撑平台设有XY轴工作滑台;所述XY轴工作滑台位于所述Z轴升降组件下方;通过取料立柱固定在所述支撑平台上的基板,所述基板两端设有取料组件、下料组件、与所述取料组件连接的上料同步带和与所述下料组件连接的下料同步带。本申请提供的一种全自动ITO蚀刻机,能够实现取放料的自动化,有效提高加工的效率,并且加工的精度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 ito 蚀刻 | ||
【主权项】:
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