[实用新型]一种全自动ITO蚀刻机有效
| 申请号： | 201920996159.1 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210817973U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陶雄兵;周欣;徐俊南;赖程飞;李万朋;严达荣;但春果;钱建宣 | 申请（专利权）人： | 鞍山盛雄激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 黄忠;沈闯 |
| 地址： | 114000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 ito 蚀刻 | ||
1.一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，包括：
立柱，固定于支撑平台上，上面固定有激光器系统；
所述激光器系统中设有两个激光器；
所述支撑平台上设有XY轴工作滑台；
所述XY轴工作滑台位于Z轴升降组件下方，所述Z轴升降组件上设有工作平台；
通过取料立柱固定在所述支撑平台上的基板，所述基板两端设有取料组件、下料组件、与所述取料组件连接的上料同步带和与所述下料组件连接的下料同步带。
2.根据权利要求1所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，所述取料组件具体包括取料吸盘、取料气缸和取料固定块；
所述取料固定块固定连接所述基板，下方固定有所述取料气缸；
所述取料气缸下方固定有所述取料吸盘。
3.根据权利要求2所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，所述下料组件具体包括下料吸盘、下料气缸和下料固定块；
所述下料固定块固定连接所述基板，下方固定有所述下料气缸；
所述下料气缸下方固定有所述下料吸盘。
4.根据权利要求1所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，还包括机架，所述机架朝向工作平台的一侧设有第一横移气缸和垂直气缸；
所述垂直气缸固定于所述第一横移气缸上方，与所述第一横移气缸的一端固定，所述垂直气缸通过连接板连接有吸盘。
5.根据权利要求4所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，所述机架内置有第二横移气缸。
6.根据权利要求5所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，所述机架两侧面分别设有两个料盒Z轴，所述两个料盒Z轴分别垂直于所述第二横移气缸。
7.根据权利要求5所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，所述第二横移气缸上设有可移动的料盘接收盘。
8.根据权利要求7所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，所述机架的上表面设有第一料盘组和第二料盘组，所述第一料盘组可下落至所述料盘接收盘上。
9.根据权利要求5所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，所述机架的一侧固定有备料组件。
10.根据权利要求1所述的一种全自动ITO蚀刻机，其特征在于，所述立柱的材料具体为大理石。
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