[实用新型]氧化铍陶瓷薄膜金属化结构及其制备装置

摘要

本实用新型公开的是电子功能陶瓷材料技术领域的一种氧化铍陶瓷薄膜金属化结构及其制备装置，氧化铍陶瓷薄膜金属化结构包括氧化铍陶瓷基体和位于其表面的金属层，所述金属层包括三层，从内到外依次为钛膜、铜膜和铜层，制备装置包括呈流水线依次布置的清洗段、烘干箱、磁控溅射镀膜装置和电镀槽，氧化铍陶瓷基体通过人工和机械手辅助夹持在各工序部位之间依次移动。本实用新型的有益效果是：较传统的烧结金属粉末法，本申请通过镀膜制作的钛膜、铜膜和铜层复合金属层，只需较少的材料就能实现金属化的均匀性，抗拉强度更高，结构更加稳定，并且此方法减少了烧结超长工艺周期，比传统烧结金属粉末法减少了70％的时间，大大提高效率和产品质量。