[实用新型]检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构有效
| 申请号： | 201920994898.7 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210180940U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 黄冠豪;骆玉盛 | 申请（专利权）人： | 华矽创新股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构，包含基座、照光单元、影像撷取单元，以及影像判断单元，可将待检测缺陷的硅晶圆设置在所述基座上，由所述照光单元提供所述硅晶圆的照光，并以所述影像撷取单元撷取所述硅晶圆表面的待测影像，再以所述影像判断单元接收并判断所述待测影像中有影像异常处为缺陷，而可自动检测硅晶圆缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 硅晶圆 缺陷 自动 光学 机构 | ||
【主权项】：
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