[实用新型]检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构

权利要求书

1.一种检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构，其特征在于，包括：

一基座，用于设置待检测缺陷的硅晶圆；

一照光单元，所述照光单元对应于所述基座，并为所述硅晶圆提供照光；

一影像撷取单元，所述影像撷取单元与所述照光单元设置于所述硅晶圆的同一面，以撷取所述硅晶圆的表面在有所述照光单元照光下的一待测影像；以及

一影像判断单元，所述影像判断单元与所述影像撷取单元电性连接，以接收所述待测影像，且判断所述待测影像是否存在影像差异而有缺陷。

2.如权利要求1所述的检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构，其特征在于，进一步包括一水平位移单元，与所述基座连接，而控制所述基座沿水平方向位移。

3.如权利要求2所述的检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构，其特征在于，进一步包括一转向单元，所述转向单元与所述基座及所述水平位移单元连接，让所述基座上的硅晶圆可倾斜至不同角度供所述影像撷取单元撷取所述待测硅晶圆的不同角度影像。

4.如权利要求1所述的检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构，其特征在于，所述照光单元照光时的光线亮度大于10000流明。

5.如权利要求1所述的检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构，其特征在于，进一步包括一缺陷影像数据库，所述缺陷影像数据库与所述影像判断单元电性连接，并储存所述影像判断单元多个对应所述硅晶圆的缺陷影像，以供所述影像判断单元进行所述硅晶圆缺陷判断。

6.如权利要求1所述的检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构，其特征在于，进一步包括一缺陷去除单元，以去除所述缺陷。