[实用新型]一种碳化硅晶片抛光用的固定装置有效
| 申请号： | 201920990419.4 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210060737U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 王静辉;曾昊;崔素杭;张乾;李帅 | 申请（专利权）人： | 同辉电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B27/00;B24B49/16;B24B41/00 |
| 代理公司： | 13115 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 周大伟 |
| 地址： | 050200 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆输出轴通过螺栓固定有同一个安装板，所述抛光箱的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构。本实用新型通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片，抵紧板在晶片底部抵紧晶片，避免晶片在打磨过程中发生位移，解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 螺栓固定 晶片 电动伸缩杆 抛光箱 工作台 本实用新型 碳化硅晶片 固定机构 两侧内壁 安装槽 输出轴 隔板 底部外壁 电动滑轨 顶部外壁 隔板顶部 固定装置 抛光过程 通孔内壁 轴承固定 抛光 安装板 抵紧板 夹紧板 抵紧 夹紧 内壁 通孔 外壁 晃动 打磨 开口 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板(2)，且隔板(2)顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆(3)，所述工作台(1)顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱(4)，所述抛光箱(4)底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆(3)的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆(3)输出轴通过螺栓固定有同一个安装板(5)，所述抛光箱(4)的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构(10)，所述工作台(1)顶部内壁的一侧通过螺栓固定有减速电机(9)，且减速电机(9)的输出轴通过联轴器连接在固定机构(10)的传动轴上，所述固定机构(10)包括固定框(14)，且固定框(14)的两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨(16)，两个所述电动滑轨(16)的两侧内壁均滑动连接有夹紧板(15)。/n
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