[实用新型]一种碳化硅晶片抛光用的固定装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆输出轴通过螺栓固定有同一个安装板，所述抛光箱的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构。本实用新型通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片，抵紧板在晶片底部抵紧晶片，避免晶片在打磨过程中发生位移，解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶片抛光用的固定装置。

背景技术

金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为3.20～3.25，显微硬度为2840～3320kg/mm2。

现有的碳化硅晶片在抛光过程中由于固定装置不能完全固定晶片，容易导致晶片在抛光过程中出现损伤抛光不均的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片抛光用的固定装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种碳化硅晶片抛光用的固定装置，包括工作台，所述工作台的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，且隔板顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有电动伸缩杆，所述工作台顶部外壁开设有安装槽，且安装槽的内壁通过螺栓固定有顶部带有开口的抛光箱，所述抛光箱底部外壁的两侧均开设有通孔，两个所述电动伸缩杆的输出轴分别穿过两个通孔内壁，且两个所述电动伸缩杆输出轴通过螺栓固定有同一个安装板，所述抛光箱的两侧内壁通过轴承固定有同一个固定机构，所述工作台顶部内壁的一侧通过螺栓固定有减速电机，且减速电机的输出轴通过联轴器连接在固定机构的传动轴上，所述固定机构包括固定框，且固定框的两侧内壁均通过螺栓固定有电动滑轨，两个所述电动滑轨的两侧内壁均滑动连接有夹紧板。

优选的，所述安装板顶部外壁开设有固定槽，且固定槽底部内壁设置有三个弹簧，所述固定槽底部内壁通过螺栓固定有压力传感器，其中一个所述弹簧的一端固定在压力传感器上，三个所述弹簧顶部外壁通过螺栓固定有同一个抵紧板。

优选的，所述工作台顶部外壁的两侧均通过螺栓固定有液压缸，且两个液压缸的活塞杆通过螺栓固定有同一个固定板。

优选的，所述固定板底部外壁中轴线处通过螺栓固定有抛光机构。

优选的，两个所述夹紧板相对一侧内壁均开设有夹紧槽，且两个夹紧槽的内壁均粘接有橡胶垫，所述压力传感器的输出端通过信号线连接有微处理器。

优选的，所述电动伸缩杆、减速电机、液压缸和电动滑轨均通过导线连接有开关，且开关通过导线和微处理器相连接。

本实用新型的有益效果为：

1.本碳化硅晶片抛光用的固定装置，通过在抛光箱中设置固定机构，通过固定机构中电动滑轨带动夹紧板来夹紧晶片，又通过抵紧板在晶片底部抵紧晶片，避免晶片在打磨过程中发生位移，解决了现有的碳化硅晶片在抛光过程中容易晃动的问题。

2.本碳化硅晶片抛光用的固定装置，通过在抵紧板底部设置压力传感器，通过压力传感器监测抵紧的力，避免抵紧板抵紧的力度过大，导致镜片抛光不均匀的问题，通过减速电机方便带动固定机构翻转，方便抛光机构进行双面抛光。

附图说明