[实用新型]一种半导体单片集成电路的光刻设备

摘要

本实用新型公开了一种半导体单片集成电路的光刻设备，包括底座，所述底座上表面两端分别设置有收缩杆，且底座上表面设置有喷胶台，所述喷胶台一侧设置有软烘台，所述软烘台一侧设置有曝光台，所述收缩杆上端设置有移动杆，且收缩杆一侧设置有固定螺丝，所述移动杆上端连接有背墙，所述背墙一侧设置有移动轨道，所述移动轨道下端设置有光刻组件。通过设置移动杆、固定螺丝和收缩杆，可以调节固定螺丝来调节移动杆在收缩杆内部的上下滑动来控制光刻组件与底座的距离，该设计简单，易于操作；通过设置移动器和移动轨道，可以是光刻组件在移动轨道上来回滑动，使光刻组件对底座上的工作台分布操作，该设计简单，减轻了工作人员的工作强度。