[实用新型]一种氮化硅陶瓷气孔保护罩有效
| 申请号： | 201920967335.9 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210140647U | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 柏小龙;宋晓文 | 申请（专利权）人： | 埃克诺新材料（大连）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/04;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116423 辽宁省大连*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种氮化硅陶瓷气孔保护罩，包括：保护罩本体、顶部气孔开闭组件以及侧壁气孔开闭组件，保护罩本体为氮化硅材质，圆形顶壁上设置有四个顶部气孔，环形侧壁上设置有数个侧壁气孔，顶部气孔开闭组件设置有顶部气孔橡胶塞，侧壁气孔开闭组件设置有侧壁气孔橡胶塞，在利用多晶硅生长炉生长多晶硅时，可以将本实用新型的氮化硅陶瓷气孔保护罩设置在气体物料出口孔上，防止由于硅体生长时异常碰撞跌落碎块堵住气体物料出口孔，氮化硅气孔保护罩能够防止氯硅烷气体及氯化氢气体腐蚀给多晶硅体生长带来污染，并且可以通过顶部气孔开闭组件以及侧壁气孔开闭组件对顶部气孔和侧壁气孔进行灵活的开启和关闭，以适应多样化的使用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 陶瓷 气孔 护罩 | ||
【主权项】：
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