[实用新型]一种氮化硅陶瓷气孔保护罩

说明书

本实用新型公开一种氮化硅陶瓷气孔保护罩，包括：保护罩本体、顶部气孔开闭组件以及侧壁气孔开闭组件，保护罩本体为氮化硅材质，圆形顶壁上设置有四个顶部气孔，环形侧壁上设置有数个侧壁气孔，顶部气孔开闭组件设置有顶部气孔橡胶塞，侧壁气孔开闭组件设置有侧壁气孔橡胶塞，在利用多晶硅生长炉生长多晶硅时，可以将本实用新型的氮化硅陶瓷气孔保护罩设置在气体物料出口孔上，防止由于硅体生长时异常碰撞跌落碎块堵住气体物料出口孔，氮化硅气孔保护罩能够防止氯硅烷气体及氯化氢气体腐蚀给多晶硅体生长带来污染，并且可以通过顶部气孔开闭组件以及侧壁气孔开闭组件对顶部气孔和侧壁气孔进行灵活的开启和关闭，以适应多样化的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备技术领域，具体涉及一种氮化硅陶瓷气孔保护罩。

背景技术

多晶硅是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。

多晶硅生长炉适用于进行多晶硅生长的容器，多晶硅生长炉上方通常设置有气体物料出口孔。在多晶硅生长过程中，经常会出现由于硅体生长时异常碰撞跌落，导致碎块堵住气体物料出口孔的情况发生。因此，有必要设计一种氮化硅陶瓷气孔保护罩，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氮化硅陶瓷气孔保护罩，以解决目前在多晶硅生长过程中，经常会出现由于硅体生长时异常碰撞跌落，导致碎块堵住气体物料出口孔的情况发生的问题。

本实用新型提供一种氮化硅陶瓷气孔保护罩，包括：保护罩本体、顶部气孔开闭组件以及侧壁气孔开闭组件；

所述保护罩本体为氮化硅材质，所述保护罩本体呈圆柱状壳体，包括圆形顶壁以及与所述圆形顶壁连接的环形侧壁，所述圆形顶壁上设置有四个顶部气孔，所述四个顶部气孔围绕所述圆形顶壁的中心轴线均匀分布，所述顶部气孔贯穿所述圆形顶壁的上下表面，所述环形侧壁上设置有数个侧壁气孔，所述侧壁气孔呈条状，所述侧壁气孔贯穿所述环形侧壁的内外侧壁，所述数个侧壁气孔以所述环形侧壁的中心轴线为轴均匀分布于所述环形侧壁上；

所述顶部气孔开闭组件包括中心圆盘、旋钮把手、四个延展性连接臂、顶部气孔橡胶塞以及顶部气孔橡胶塞固定圈，所述中心圆盘的底部设置有转轴，所述转轴与所述圆形顶壁的中心转动连接，所述旋钮把手设置于所述中心圆盘的顶部，所述四个延展性连接臂分别连接于所述中心圆盘的外周面四周，所述顶部气孔橡胶塞固定圈连接于所述延展性连接臂的端部，所述顶部气孔橡胶塞设置于所述顶部气孔橡胶塞固定圈的内部，所述顶部气孔橡胶塞的位置和尺寸与所述顶部气孔相适配；

所述侧壁气孔开闭组件包括固定圈、限位帽、延展性连接杆、侧壁气孔橡胶塞固定框以及侧壁气孔橡胶塞，所述固定圈可拆卸地套设于所述环形侧壁的外部上方，所述延展性连接杆垂直穿过所述固定圈的上下表面，多个所述延展性连接杆以所述固定圈的中心轴线为轴均匀分布于所述固定圈上，所述延展性连接杆的数量和间距与所述侧壁气孔相适配，所述限位帽设置于所述延展性连接杆的顶部且位于所述固定圈的上方，所述侧壁气孔橡胶塞固定框连接于所述延展性连接杆的底部且位于所述固定圈的下方以及所述环形侧壁的外围，所述侧壁气孔橡胶塞设置于所述侧壁气孔橡胶塞固定框的内部，所述侧壁气孔橡胶塞的形状与所述侧壁气孔相适配。

可选的，所述顶部气孔橡胶塞的底部呈锥状结构。

可选的，所述侧壁气孔橡胶塞固定框的宽度从所述侧壁气孔橡胶塞固定框向内逐渐减小。

可选的，所述固定圈为橡胶圈。

可选的，所述延展性连接臂以及所述延展性连接杆均为延展性金属丝的外部包覆塑料外皮的结构。