[实用新型]一种用于晶圆目检的扩晶环承载装置有效
| 申请号： | 201920950510.3 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN210115259U | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 缪晓斌;王国杰 | 申请（专利权）人： | 苏州长瑞光电有限公司 |
| 主分类号： | B07C7/04 | 分类号： | B07C7/04 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 215024 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆目检的扩晶环承载装置，所述扩晶环中固定有载有晶圆的薄膜，所述扩晶环承载装置为两层平台层叠而成的双层结构，上层平台为直径略小于所述扩晶环内径而高度略大于所述扩晶环高度的圆柱体，下层平台的水平方向最大尺寸大于所述扩晶环内径，下层平台内部形成有一腔体，所述腔体通过设置于下层平台侧壁上的至少一个抽气孔与外部连通，所述上层平台中设置有多个自上表面向下贯通至所述腔体的排气孔。本实用新型可有效解决目检过程中产品容易移动，薄膜易破损以及失焦问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆目检 扩晶环 承载 装置 | ||
【主权项】：
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