[实用新型]一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器有效
| 申请号： | 201920931083.4 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210775316U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏;张真;谭永杰;谭崇刚;谭德辉;武郑浩 | 申请（专利权）人： | 南京云创大数据科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210014 江苏省南京市秦淮区永*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，所述传感器为平板式结构，自下而上依次包括单晶硅片、二氧化硅纳米薄膜、氮化硅纳米薄膜、铂金电极薄膜和WO3纳米薄膜。所述铂金电极薄膜包括一块加热电极和一块信号电极，所述加热电极和信号电极对称分布于同一个平面上，所述铂金电极薄膜磁控溅射参数为：溅射功率为30～60W，溅射时间为15～30min，沉积温度为室温，氩气流量为30～40sccm。本实用新型的传感器以WO3纳米薄膜为敏感材料，所述WO3纳米薄膜由磁控溅射镀膜制得，对可燃气体如氢气和一氧化碳具有较高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 wo3 纳米 薄膜 可燃 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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