[实用新型]一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器

权利要求书

1.一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述传感器为平板式结构，自下而上依次包括单晶硅片(5)、二氧化硅纳米薄膜(4)、氮化硅纳米薄膜(3)、铂金电极薄膜(2)和WO3纳米薄膜(1)；

所述铂金电极薄膜(2)包括一块加热电极(6)和一块信号电极(7)，所述加热电极(6)和信号电极(7)对称分布于同一个平面上，所述铂金电极薄膜(2)磁控溅射参数为：溅射功率为30～60W，溅射时间为15～30min，沉积温度为室温，氩气流量为30～40sccm。

2.根据权利要求1所述的一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述二氧化硅纳米薄膜(4)、氮化硅纳米薄膜(3)、铂金电极薄膜(2)和WO3纳米薄膜(1)的厚度均为纳米级别。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述氮化硅纳米薄膜(3)、铂金电极薄膜(2)和WO3纳米薄膜(1)均由磁控溅射法制备得到，所用溅射设备为JCP-200。

4.根据权利要求3所述的一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述二氧化硅纳米薄膜(4)由高温氧化制得，用于隔热。

5.根据权利要求3所述的一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述氮化硅纳米薄膜(3)的磁控溅射参数为：溅射功率为80～120W，溅射时间为1～3h，沉积温度为100～150℃，氩气流量为30～40sccm，用于绝缘。

6.根据权利要求3所述的一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述铂金电极薄膜(2)的电极图形模板为不锈钢电极掩模板，所述不锈钢电极掩模板厚度为0.1mm。

7.根据权利要求3所述的一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述WO3纳米薄膜(1)的磁控溅射参数为：溅射功率为70～120W，溅射时间为15～30min，沉积温度为25～100℃，氩气流量为30～40sccm，氧气流量为1～5sccm。