[实用新型]一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，包括取样长杆，装置还包括设于取样长杆前部的圆筒状的长杆端头、样片基座，所述样片基座设有基座连接部，所述基座连接部设有侧杆，所述长杆端头前部开设有侧杆滑入槽，所述长杆端头后部安装有电磁铁，所述电磁铁设于长杆端头的后方，所述长杆端头内设有回复机构，所述回复机构连接有挂钩，所述挂钩后部设有吸合头，所述挂钩前部设有供侧杆钩挂的槽，所述挂钩绕回复机构转动时，吸合头靠近电磁铁。本实用新型在缩短搬运的时间，且要避免样片在搬运过程中受到损伤，以提高生产效率和成品率，本实用新型结构操作便捷，且能够通过鸭嘴槽进行水平方向上的小幅度调整，使其操作更为灵活。