[实用新型]一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置

权利要求书

1.一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，包括取样长杆，其特征在于，装置还包括设于取样长杆前部的圆筒状的长杆端头、样片基座，所述样片基座设有基座连接部，所述基座连接部设有侧杆，所述长杆端头前部开设有侧杆滑入槽，所述长杆端头后部安装有电磁铁，所述电磁铁设于长杆端头的后方，所述长杆端头内设有回复机构，所述回复机构连接有挂钩，所述挂钩后部设有吸合头，所述挂钩前部设有供侧杆钩挂的槽，所述挂钩绕回复机构转动时，吸合头靠近电磁铁。

2.如权利要求1所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述侧杆滑入槽深度到达挂钩的后方。

3.如权利要求1所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述挂钩的挂钩端部为斜面，所述挂钩的槽的后方设有圆弧状限位凸起。

4.如权利要求1所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述挂钩上部设有通孔，所述回复机构包括回位弹簧和弹簧固定块，所述弹簧固定块固定于长杆端头的内壁两侧，所述回位弹簧穿过通孔且回位弹簧两端固定在弹簧固定块上。

5.如权利要求4所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述回位弹簧水平固定在长杆端头内。

6.如权利要求1所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述样片基座中部设下凹成圆形的磁控溅射基底。

7.如权利要求1所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述基座连接部前部设有鸭嘴槽，所述样片基座的基座尾部卡设在鸭嘴槽内，所述样片基座在鸭嘴槽内水平转动。

8.如权利要求7所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述基座尾部与鸭嘴槽通过螺栓转动的连接。

9.如权利要求7所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述基座连接部尾端为圆台状凸起，所述侧杆装设在基座连接部尾端的两侧且位于圆台状凸起的前侧。

10.如权利要求1所述的一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，其特征在于，所述样片基座为片状，所述样片基座的基座前端为矩形凸起。