[实用新型]抛光液循环过滤系统有效

专利信息
申请号: 201920907878.1 申请日: 2019-06-17
公开(公告)号: CN210699103U 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 钟波;陈贤华;邓文辉;张清华;王健;郑楠 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B01D35/143 分类号: B01D35/143;B01D35/12;B01D29/11
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 曹鹏飞
地址: 621900*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型涉及抛光液循环过滤系统,其搭载于抛光机床上,包括:储液装置,储液装置为倒置布置的锥形桶,锥形桶上部为出液侧,其下部为回液侧;第一供液装置和第二供液装置,第一供液装置和第二供液装置的进液端并列连接于储液装置出液侧;第一供液装置和第二供液装置的出液端连接至抛光机床;回液装置,回液装置回液进液端连接至抛光机床的储液槽,其回液出液端连通于储液装置的进液侧,回流的抛光液从锥形桶底部冲入锥形桶内,使锥形桶内的抛光液形成自扰动;控制终端,第一供液装置、第二供液装置和回液装置均与控制终端电性连接;控制终端按照预设程序控制第一供液装置和/或第二供液装置供液提高系统供液可靠性。
搜索关键词: 抛光 循环 过滤 系统
【主权项】:
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